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激光诱导光致抗蚀剂的固化反应
激光诱导光致抗蚀剂的固化反应
来源 :激光杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gmgan
【摘 要】
:
用N_2激光337.1nm谱线辐照,能有效地引发顺酐型和环氧型不饱和聚酯树脂组成的光致抗蚀剂的固化反应。用付立叶交换红外光谱法跟踪反应动力学过程,并用溶解试验检验固化效果。
【作 者】
:
金桂林
潘孝仁
【机 构】
:
华东化工学院,华东化工学院
【出 处】
:
激光杂志
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
激光
诱导
抗蚀剂
固化反应
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用N_2激光337.1nm谱线辐照,能有效地引发顺酐型和环氧型不饱和聚酯树脂组成的光致抗蚀剂的固化反应。用付立叶交换红外光谱法跟踪反应动力学过程,并用溶解试验检验固化效果。讨论了反应转化率,反应速率与引发剂浓度的关系。
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