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综述了影响薄膜附着力的因素，通过引入中间层，增强界面的附着力和减少应力来提高薄膜与衬底之间的结合强度，给出了一些采用中间层的例子。
中间层对薄膜附着强度的改进
【摘 要】
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综述了影响薄膜附着力的因素，通过引入中间层，增强界面的附着力和减少应力来提高薄膜与衬底之间的结合强度，给出了一些采用中间层的例子。
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1999年2期
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