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期刊论文
LiNbO3声表面波特性及其应用
LiNbO3声表面波特性及其应用
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinqing101
【摘 要】
:
LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性被广泛应用于声表面波器件中.着重介绍LiNbO3的压电性能、声表面性能及其薄膜制备技术,对通过不同制备工艺生长出的LiNbO3薄膜的质量
【作 者】
:
曹亮亮
叶志镇
王新昌
【机 构】
:
浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2004年10期
【关键词】
:
LiNbO3薄膜
声表面波器件
薄膜制备
压电性能
新进展
表面性能
领域
LiNbO_3
thin film
surface acoustic wave
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LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性被广泛应用于声表面波器件中.着重介绍LiNbO3的压电性能、声表面性能及其薄膜制备技术,对通过不同制备工艺生长出的LiNbO3薄膜的质量和声表面波性能进行了比较,并简要介绍了LiNbO3在声表面波领域应用的新进展.
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