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软X射线激光技术在近年来得以较快的发展,而多层膜是其不可缺少的一项基础技术,软X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构性需达到很高的水平.现就软X射线激光多层膜的均匀性控制技术进行研究,以期得到更加精确的膜层结构.
软X射线激光多层膜均匀性控制技术
【摘 要】
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软X射线激光技术在近年来得以较快的发展,而多层膜是其不可缺少的一项基础技术,软X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构性需达到很高的水平.现就软X射线激光多层膜的均
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室(吉林长春)
【出 处】
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第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
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2001年11期
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