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气敏传感器的研究现状与发展趋势
气敏传感器的研究现状与发展趋势
来源 :煤矿机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuyuetian530
【摘 要】
:
传感器技术是现代检测和自动化技术的重要基础之一 ,它已深入到人类生活的各个领域。随着微电脑和微电子技术的日益普及和应用 ,对传感器的性能、数量及用途提出了新的需求 ,
【作 者】
:
贾良菊
应鹏展
许林敏
倪自丰
王雅晴
【机 构】
:
中国矿业大学材料科学与工程学院,中国矿业大学材料科学与工程学院,中国矿业大学材料科学与工程学院,中国矿业大学材料科学与工程学院,浙江师范大学 江苏徐州221008,江苏徐州221008,江苏徐州221
【出 处】
:
煤矿机械
【发表日期】
:
2005年04期
【关键词】
:
气敏传感器
SnO2
MEMS
纳米科技
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传感器技术是现代检测和自动化技术的重要基础之一 ,它已深入到人类生活的各个领域。随着微电脑和微电子技术的日益普及和应用 ,对传感器的性能、数量及用途提出了新的需求 ,这就使人们更加重视对新型传感器的开发。重点介绍气敏传感器的研究现状与发展趋势
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