Design and Fabrication of MEMS Gyroscopes on the Silicon-on-insulator Substrate with Decoupled Osci

来源 :中国机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yu964230

【摘要】

：

The mode coupling is a major factor to affect the precision of the micro electromechanical systems(MEMS) gyroscope. Currently, many MEMS gyroscopes with separat

【作者】

：

XIE Jianbing YUAN Weizheng CHA

【机构】

：

MicroandNanoElectromechanicalSystemsLaboratory

【出处】

：

中国机械工程学报

【发表日期】

：

2010年1期

【关键词】

：

微机械陀螺仪 MEMS陀螺创新设计工艺制作硅绝缘体振动模式解耦微机电系统 micro electromechanical systems（MEMS）

【基金项目】

：

This project i＇s supported by National Hi-tech Research and Development Program of China （863 Program, Grant No. 2009AA04Z320）, and Xi＇an Mtmicipal Applied Materials Innovation Fund of China （Grant No

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The mode coupling is a major factor to affect the precision of the micro electromechanical systems(MEMS) gyroscope. Currently, many MEMS gyroscopes with separate oscillation modes for drive and detection have been developed to decrease the mode coupling,

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