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四氟化硅是一种重要的特种气体,应用前景广阔。详细介绍了四氟化硅的性质、应用、制备方法及纯化方法,指出了每种制备方法及纯化方法的优缺点,并指明了后续的研究方向。
四氟化硅的制备与纯化
【摘 要】
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四氟化硅是一种重要的特种气体,应用前景广阔。详细介绍了四氟化硅的性质、应用、制备方法及纯化方法,指出了每种制备方法及纯化方法的优缺点,并指明了后续的研究方向。
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七一八研究所
【出 处】
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当代化工
【发表日期】
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2019年4期
【基金项目】
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国家科技重大专项,项目号:2013ZX02401103
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