论文部分内容阅读
涡轮分子泵在低温下的真空特性
【出 处】
：
四川真空
【发表日期】
：
1998年1期
其他文献
本文分析了目前机械加工生产现状，阐述了机夹可转位刀具的优点和超硬刀具材料在机加工中的运用。提出了提高机械加工效率的有效措施是广泛采用机夹可转位刀具和新型材料刀具。
借助ＱＭＳ诊断技术，完成了ＨＬ－１Ｍ装置Ｂ／Ｃ壁和Ｓ壁的出气特的对比实验研究。Ｂ／Ｃ壁的最大出气率是２．６０×１０＾２０ｍｏｌ／ｓ其中Ｈ２占９９．６％杂质组分３．８×１０＾－３。与ＳＳ壁相比，Ｂ／Ｃ壁的Ｈ２出气率增加了１．３倍，杂质组分出气率小一个量级，且气体的动力学
通过对ＨＬ－１Ｍ的氦直流辉光放电清洗（ＨｅＧＤＣ）的放电特点和清除效率的研究，发现环形真空室的对称性导致与阳极截面相对称的截面的电场为零的中性截面，该截面及附近的场强很弱，使其阴极位降区的厚
ＨＬ－１Ｍ装置放电初期，硅收集探针暴露于等离子体边缘，利用表面分析分析研究等离子体刮离层中的主要杂质组分为Ｃ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｎｉ和Ａｌ同时给出刮离层中的杂质流通及其分布。
本文在改制后的ＬＡＳ－２０００表面分析设备上对ＳＭＦ８００，Ｇ３石墨和（ＳｉＣ＋Ｃ）／Ｃ涂层石墨的真空出气性能和Ｄ＾＋束辐照化学增强腐蚀性能进行了分析研究。研究表明：ＨＬ－１Ｍ装置第一壁选择ＳＭＦ８００石墨及其处理工艺及合理，正确的。