退火升温速率对氧化铝涂层性能的影响研究

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采用直流反应磁控溅射的方法将1μm厚的氧化铝涂层沉积于K424镍基高温合金基底上。为了减少涂层缺陷,优化涂层性能,本文以不同的升温速率对制备得到的氧化铝涂层进行500℃保温1 h的退火处理,并通过XRD、SEM等研究了退火升温速率对氧化铝涂层微观结构,表面形貌以及显微硬度的影响。结果表明:经800℃保温1 h进一步的高温热处理之后,γ-Al2O3结晶首先在以25℃/min升温速率退火后的试样中发现,并且以25℃/min升温速率退火后的试样拥有最致密的表面形貌。
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