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从粒子的产生、输运及表面反应出发,建立总的输运模型并得到靶的溅射速率和化合物的复盖度.模型中都是以宏观工艺参数及反应室结构参数表达的,对薄膜材料的溅射淀积技术具有重要的应用价值.
从粒子输运研究靶的溅射与中毒
【摘 要】
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从粒子的产生、输运及表面反应出发,建立总的输运模型并得到靶的溅射速率和化合物的复盖度.模型中都是以宏观工艺参数及反应室结构参数表达的,对薄膜材料的溅射淀积技术具有
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系,广西工学院电子信息与控制工程系
【出 处】
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广西工学院学报
【发表日期】
：
2001年4期
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