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半导体技术就是以半导体为材料,制作成组件及集成电路的技术。在半导体技术中,光刻技术和薄膜制备技术是常用的工艺技术。本文介绍了光刻技术和薄膜制备技术现状和进展情况。
半导体制造技术综述
【摘 要】
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半导体技术就是以半导体为材料,制作成组件及集成电路的技术。在半导体技术中,光刻技术和薄膜制备技术是常用的工艺技术。本文介绍了光刻技术和薄膜制备技术现状和进展情况。
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心
【出 处】
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山东工业技术
【发表日期】
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2016年11期
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