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期刊论文
半导体制造技术综述
半导体制造技术综述
来源 :山东工业技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chen1155588
【摘 要】
:
半导体技术就是以半导体为材料,制作成组件及集成电路的技术。在半导体技术中,光刻技术和薄膜制备技术是常用的工艺技术。本文介绍了光刻技术和薄膜制备技术现状和进展情况。
【作 者】
:
黄广龙
【机 构】
:
国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心
【出 处】
:
山东工业技术
【发表日期】
:
2016年11期
【关键词】
:
半导体
光刻
图形
薄膜
沉积
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半导体技术就是以半导体为材料,制作成组件及集成电路的技术。在半导体技术中,光刻技术和薄膜制备技术是常用的工艺技术。本文介绍了光刻技术和薄膜制备技术现状和进展情况。
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