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利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度约为7μm的辉光放电聚合物薄膜，将制备的薄膜样品放人通有氩气保护的热处理炉中加热至300℃，分别进行6，10，24h的保温热处理。通过白光干涉仪观察分析了不同保温时间下辉光放电聚合物薄膜的表面粗糙度；利用傅里叶变换红外吸收光谱分析了300℃条件下不同保温时间对薄膜结构的影响；采用纳米压痕仪表征了不同保温时间热处理后，薄膜硬度及模量的变化。结果表明：随着保温时间的增加，薄膜的表面均方根粗糙度由12nm降至4．43nm。薄膜结构中甲基的相对含量减少，双键的相对含量增加，碳