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期刊论文
微机械惯性传感器检测平台的设计与应用
微机械惯性传感器检测平台的设计与应用
来源 :电子技术应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaopirate
【摘 要】
:
一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台,介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法.
【作 者】
:
刘雪涛
高钟毓
张嵘
【机 构】
:
清华大学精密仪器系
【出 处】
:
电子技术应用
【发表日期】
:
2002年10期
【关键词】
:
微机械惯性传感器
集成电路
检测平台
微机电系统
MEMS
微机械陀螺
MMG
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一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台,介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法.
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