【摘 要】
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目前的传感器主要是检测被测信号,并转换成电信号。随着半导体工艺的发展,集成电路的集成度不断提高。微型化电路的不断出现,国外对半导体传感器的发展动向说法不一,归纳起
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目前的传感器主要是检测被测信号,并转换成电信号。随着半导体工艺的发展,集成电路的集成度不断提高。微型化电路的不断出现,国外对半导体传感器的发展动向说法不一,归纳起来,有代表性的几种提法是:(1)集成化;(2)功能化与智能化;(3)新型半导体传感器的开发。
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