【摘 要】
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利用１２７°电子能且分析器，测量了冷规内部在低压潘宁放电时的离子能量分布。在压强为２．５× １０－４托、冷规阳极电压为１．６千伏时，得到冷规的轴上电位仅３００伏，离子能量峰值的位置为３５７ 电子伏，半宽度为２２电
【机 构】
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利用１２７°电子能且分析器，测量了冷规内部在低压潘宁放电时的离子能量分布。在压强为２．５× １０－４托、冷规阳极电压为１．６千伏时，得到冷规的轴上电位仅３００伏，离子能量峰值的位置为３５７ 电子伏，半宽度为２２电子伏。在３．０× １０－４托时观察到了放电模式的变化。
Using 127 ° electron energy analyzer, the ion energy distribution inside the cold gauge at low pressure Penning discharge was measured. At a pressure of 2.5 x 10-4 Torr and a cold gauge anode voltage of 1.6 kV, the on-axis potential of the cold gauge is only 300 volts, the ion energy peak is at 357 eV and the half-width is 22 electrons Volt. A change in discharge mode was observed at 3.0x10-4 Torr.
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