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采用射频等离子增强化学气相沉积（RF—PECVD）I艺制备非晶硅（a—Si：H）薄膜，KBr衬底在175—275℃范围内变化，用傅立叶红外光谱仪WrIR）测试KBr衬底上的薄膜红外光谱峰随衬底温度的变化情况，结合红外光谱峰的理论分析确定薄膜中氢含量随衬底温度的变化规律．光谱式椭圆偏振仪中用ForouhiBloomer（FB）模型拟合得到薄膜的折射率（n），消光系数（k），膜厚及光学禁带宽度（Eg），并用扫描电镜（SEM）断面分析对椭偏仪测试结果的准确性进行验证．根据Tauc公式推出薄膜的岛和截止波长，并和