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近年来,真空微电子学的发展引人瞩目,它的应用十分广泛,普遍认为真空微电子学是继真空管、集成电路之后电子学发展中又一新产业的标志,本文主要探讨真空微电子的发展背景。
真空微电子学的崛起
【摘 要】
：
近年来,真空微电子学的发展引人瞩目,它的应用十分广泛,普遍认为真空微电子学是继真空管、集成电路之后电子学发展中又一新产业的标志,本文主要探讨真空微电子的发展背景。
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
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1992年1期
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