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根据潘宁放电机理，导出溅射离子泵抽速的理论公式，讨论了抽速对各放电参数的依赖关系计算了离子泵对Ｎ２和ＣＯ的抽速，计算结果和实验测试以及经验公式的结果有较好的符合。
溅射离子泵对N2和CO抽速的理论计算
【摘 要】
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根据潘宁放电机理，导出溅射离子泵抽速的理论公式，讨论了抽速对各放电参数的依赖关系计算了离子泵对Ｎ２和ＣＯ的抽速，计算结果和实验测试以及经验公式的结果有较好的符合。
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1997年2期
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