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准确测量是生产高质量IGBT的重要保证。本文介绍了IGBT检测误差产生的各种原因及其对测量数据统计特性的影响,重点讨论了量具的重复性和再现性。在Gage R＆R分析的基础上,给出了Gage R＆R分析在IGBT检测过程中的应用,并将Gage R＆R分析成功的应用到半导体检测领域。
Gage R＆R分析法在IGBT检测中的应用
【摘 要】
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准确测量是生产高质量IGBT的重要保证。本文介绍了IGBT检测误差产生的各种原因及其对测量数据统计特性的影响,重点讨论了量具的重复性和再现性。在Gage R＆R分析的基础上,给出
【机 构】
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中国航天科工集团7801研究所
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2014年9期
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