超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术

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【摘要】

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【正】由河北工业大学承担完成的“超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术”项目,经专家评审鉴定,属国际领先水平。该成果发明了超大规模集成电路化学机械全局

【作者】

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王新

【出处】

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天津科技

【发表日期】

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2002年6期

【关键词】

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超大规模集成电路全局平面化纳米磨料清洗

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【正】由河北工业大学承担完成的“超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术”项目,经专家评审鉴定,属国际领先水平。该成果发明了超大规模集成电路化学机械全局平整化新技术的新机理模型和多层Cu布线纳米CMP抛光液、抛光表面纳米粒子的清洗技术及无污染、作用力强、可溶性的金属离子螯合剂和Cu2+、Cu+高效强络合剂。其中FA/O型Cu布线CMP抛光液价格仅为进口产品的1/4以下,中科

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