【摘 要】
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用摩擦力显微镜(FFM)研究了不同类金刚石(DLC)薄膜的微观摩擦性能。利用化学气相方法沉积制备了DLC薄膜,观察了表面形貌,并测定了其粘附力值,同时,在考虑外加载荷和扫描速度
【机 构】
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江苏大学微纳米技术研究中心江苏大学微纳米技术研究中心副教授212013镇江市主任教授博士生导师
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用摩擦力显微镜(FFM)研究了不同类金刚石(DLC)薄膜的微观摩擦性能。利用化学气相方法沉积制备了DLC薄膜,观察了表面形貌,并测定了其粘附力值,同时,在考虑外加载荷和扫描速度的基础上考察了薄膜的摩擦特性。结果表明:DLC薄膜的表面粗糙度随基底负偏压的增加而减小,而粘附力却相反;DLC薄膜的摩擦系数取决于样品表面粘附力和粗糙度的大小。在扫描速度较小时,由于针尖和样品之间的粘滑作用,摩擦力随探针扫描速度的增加而增大;而当扫描速度较大时,由于DLC薄膜发生相结构转变的缘故,摩擦力却与扫描速度成反比关系。
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