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为了解决X光多层膜理论设计与实际镀膜反射率不一致的问题，基于物理学关于X光在多层膜界面散射的最新理论，提出一种数学模型，编制了软X光多层膜的设计程序。在考虑界面粗糙度、膜层配比、膜层周期多个实际参数条件影响下，多层膜反射率与入射X光波长的关系曲线。其设计结果与传统的设计方法相比，不但理论先进，能够给出最佳结构参数的设计结果，而且能够给出膜厚误差、配比误差对反射率的影响，同时考虑了多层膜的所有参数，使反射率设计结果更接近于实际镀膜结果。