论文部分内容阅读
为了缩短掠入射XUV平场谱仪尺寸以方便其使用．利用建立的光路追踪程序优化研究了当入射距离缩短为155mm，聚焦面仍满足平面的条件下凹面光栅的各参量对谱线成像的影响。计算表明，对于曲率半径为5649mm、光栅标称间距为1／1200mm的凹面光栅，当入射距离为155mm，入射角为87．5°，聚焦参量为-21／R，彗差参量为4．655×10^2／R^2时，可以在12～40nm波段内得到优化的成像效果。