【摘 要】
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利用二次电子成象的扫描电子显微镜的分辨率一般可以达到几十埃,但利用二次离子成象的离子探针的分辨率多年来停留在1μm. 美国《今日物理》1982年7月号报道:芝加哥大学的R.L
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利用二次电子成象的扫描电子显微镜的分辨率一般可以达到几十埃,但利用二次离子成象的离子探针的分辨率多年来停留在1μm. 美国《今日物理》1982年7月号报道:芝加哥大学的R.L.Setti等和休斯(Hughes)研究实验室的R.Seliger等协作,利用高亮度离子源产生的离子束激发二次电子成象,
The resolution of a scanning electron microscope using secondary electron imaging can generally reach several tens of angstroms, but the resolution of ion probes utilizing secondary ion imaging has remained at 1 μm for many years. USA Today, July, 1982 Reported that RLSetti at the University of Chicago and others collaborated with R.Seliger at Hughes Research Laboratories to stimulate secondary electron imaging with ion beams generated by a high brightness ion source,
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