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在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4 和H2 为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验 ,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现 ,当微波输入功率较小时 ,随着反应气压的上升 ,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降 ;当微波输入功率较大时 ,沉积膜中非金刚石相碳的含量先随着反应气压的上升而降低 ,后又随着反应气压的上升而稍稍增加