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对国际上普遍采用的两种EUV光源：放电等离子体源（DPP）和激光等离子体源（LPP）进行了多方面比较。给出了两种等离子体源各自优点及难以克服的困难。基于目前的测量结果，指出了ECR等离子体有潜力成为一种新型的极紫外辐射源。
用于光刻的EUV光源
【摘 要】
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对国际上普遍采用的两种EUV光源：放电等离子体源（DPP）和激光等离子体源（LPP）进行了多方面比较。给出了两种等离子体源各自优点及难以克服的困难。基于目前的测量结果，指出了ECR等离
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2007年1期
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