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本文对工件氮化表面白亮层中ε相进行X射线衍射相分析,发现ASTM卡片中有不妥之处。提出根据ε相中含氮量与晶格常数的关系,正确鉴定ε-Fe2N、ε-Fe2-3N、ε-Fe3N及ε-Fe4N等物相。文中列出一套实际可用的各种ε相在不同含氮量时各衍射晶面的d值表,不但可以确定上述各相的衍射峰位,而且能定出绝对精度优于1wt%的含氮量,从而为各种氮化工艺参数调整提供了参考依据。