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本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验,与SPM系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析,得出这个系统适合微结构的加工;并给出了采用该方法加工的圆面及多边形面微结构;还分析了金刚石针尖几何角度及SPM和工作台的相关参数对加工的影响.
基于AFM的微结构加工实验研究
【摘 要】
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本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验,与SPM系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析,得出这个系统适合微
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2003年3期
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