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芬兰开发出利用脉冲激光沉积的世界第一个大规模生产设备。该系统可工业生产4英寸薄片的脉冲激光沉积涂层。涂层室采用专利工艺,可用微微秒高频激光沉积大面积薄膜涂层。冷烧法的好处是表面光滑无颗粒,靶材可完全涂覆于基材薄膜上。此系统可多层沉积,用材广泛,包括氧化物、金属与复合材料。第一台系统将于2014年1月供货。