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建立一个金刚石薄膜生长条件下气相反应的化学模型，并对之进行了基于第一原理的动力学反应速度常数计算，结果表明，该模型所预言的气相深度分布与实验定性一致，温度下限与实验的衬底表面温度定量一致。
金刚石薄膜生长条件气相反应的动力学分析
【摘 要】
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建立一个金刚石薄膜生长条件下气相反应的化学模型，并对之进行了基于第一原理的动力学反应速度常数计算，结果表明，该模型所预言的气相深度分布与实验定性一致，温度下限与实验的衬
【机 构】
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吉林大学理论化学研究所
【出 处】
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计算物理
【发表日期】
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1996年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金,国家基础研究重大关键性项目
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