一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法

来源 :扬州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：lummy

【摘要】

：

提出一种利用高分辨率透射电子显微镜（high resolution transmission electron microscopy,简称HRTEM）对半导体芯片内部微纳几何结构的精确测量方法,分别讨论了测定过程中制样

【作者】

：

刘剑霜李伙全陈一

【机构】

：

扬州大学物理科学与技术学院,复旦大学材料科学系

【出处】

：

扬州大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2010年3期

【关键词】

：

半导体芯片微纳几何结构高分辨率透射电子显微镜内标法 chips geometric nanostructure high resolution trans

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提出一种利用高分辨率透射电子显微镜（high resolution transmission electron microscopy,简称HRTEM）对半导体芯片内部微纳几何结构的精确测量方法,分别讨论了测定过程中制样的影响、测量设备放大倍率的校验、样品晶向校对以及不同情况下内标法和标称法的选用.该方法对半导体工业中HRTEM的应用有一定的指导意义.

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