【摘 要】
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本文介绍了国外表面粗糙度测量的新动态,具体介绍了二种新的测量方法和仪器,一是垂直分辩率达0.01nm的高精度扫描式隧道显微镜,另一个是轴向位移速度可达100mm/s的电容式表面
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本文介绍了国外表面粗糙度测量的新动态,具体介绍了二种新的测量方法和仪器,一是垂直分辩率达0.01nm的高精度扫描式隧道显微镜,另一个是轴向位移速度可达100mm/s的电容式表面粗糙度测量仪。
This paper introduces the new developments of surface roughness measurement in foreign countries, and introduces two new measurement methods and instruments. One is a high-precision scanning tunneling microscope with a vertical resolution of 0.01nm and the other one is an axial displacement speed of up to 100mm / s capacitive surface roughness measuring instrument.
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