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日本岩崎电气（总部：东京）日前开发出一款可直接检测低压水银灯（发光波长为185nm）紫外线照度和光量的检测仪——185nm型钻石紫外线监测仪。其受光元件使用光电导型钻石传感器芯片，其特点是具有很高的耐紫外线及耐热性。低压水银灯一般用于胶片与树脂的表面改质、臭氧洗净、半导体干式洗净等工艺。
可直接测定低压水银灯紫外线照度的检测仪
【摘 要】
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日本岩崎电气（总部：东京）日前开发出一款可直接检测低压水银灯（发光波长为185nm）紫外线照度和光量的检测仪——185nm型钻石紫外线监测仪。其受光元件使用光电导型钻石传感器芯片，其
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2005年12期
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