0.8μm LDD CMOS Reliability Experiments and Analysis

来源 :系统工程与电子技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wei2006006

【摘要】

：

In order to study the abnormal substrate current and reliability problem of LDDMOSFET observed in experiments, two dimensional numerical simulation for devices

【出处】

：

系统工程与电子技术：英文版

【发表日期】

：

1992年4期

【关键词】

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annealing BORON IMPLANTED Electron doping burning ABNORMAL Substrate IMPLANTATIO

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In order to study the abnormal substrate current and reliability problem of LDDMOSFET observed in experiments, two dimensional numerical simulation for devices has been performed, and an optimum process for LDD is suggested.

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