【摘 要】
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为了提高聚合物微流控芯片的键合效率,以聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微流控芯片为对象,以微型注塑机为平台,研究了聚合物模内键合方法。利用注塑机提供的合模力作为键合力,利用模温
【机 构】
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大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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为了提高聚合物微流控芯片的键合效率,以聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微流控芯片为对象,以微型注塑机为平台,研究了聚合物模内键合方法。利用注塑机提供的合模力作为键合力,利用模温机提供键合温度,选择异丙醇作为辅助溶剂,借助溶剂溶解特性来降低模内键合中的键合温度和压力。在30～70℃,用测量显微镜和台阶仪测试分析了不同键合温度条件下,辅助溶剂对芯片的表面形貌和微通道结构的影响;利用辅助溶剂进行模内键合实验,用电子万能实验机测试了芯片的键合强度,对模内键合工艺参数进行了优化。结果表明：异丙醇对键合质量的影响与键合温
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