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研究金刚石砂轮磨削单晶硅片时的表面磨削 温度．针对平形砂轮和杯形砂轮两种不同平面磨削方式所产生的表面磨削温度特点进行了比 较分析．对砂轮粒度和磨削深度对这两种平面磨削方式的表面磨削温度的影响进行了试验研 究，得到了一些有意义的试验结果和结论．
磨削方式对单晶硅表面磨削温度的影响
【摘 要】
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研究金刚石砂轮磨削单晶硅片时的表面磨削 温度．针对平形砂轮和杯形砂轮两种不同平面磨削方式所产生的表面磨削温度特点进行了比 较分析．对砂轮粒度和磨削深度对这两种平面磨削
【出 处】
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天津大学学报：英文版
【发表日期】
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2000年1期
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