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以普通石英光纤为材料，运用腐蚀一熔拉一腐蚀复合的方法制备出光纤探针；而后在针尖侧面镀上一层数十纳米厚的金属膜，实现导电性与导光性，使其能传导隧道电流和探测近场光，并在实际测量中取得了理想的测试结果。
一种两用光纤微探针的研制
【摘 要】
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以普通石英光纤为材料，运用腐蚀一熔拉一腐蚀复合的方法制备出光纤探针；而后在针尖侧面镀上一层数十纳米厚的金属膜，实现导电性与导光性，使其能传导隧道电流和探测近场光，并在实际
【机 构】
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郧阳师范高等专科学校物理系,同济大学Pohl固体物理研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2007年1期
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