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高真空平板磁控管放电的开发

来源 :国外核聚变与等离子体应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：taohongguanghao

【作 者】

：

麻莳 张一鸣 

【出 处】

：

国外核聚变与等离子体应用

【发表日期】

：

1993年6期

【关键词】

：

高真空 磁控管 放电 溅射 

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