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介绍了研制成功的掩模投影式实用型准分子激光微细加工机的主要技术指标、结构特点、研制中解决的关键单元技术，并简要介绍其应用。
实用型准分子激光微细加工机研制
【摘 要】
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介绍了研制成功的掩模投影式实用型准分子激光微细加工机的主要技术指标、结构特点、研制中解决的关键单元技术，并简要介绍其应用。
【机 构】
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北京工业大学国家产学研激光技术中心
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1999年1期
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