【摘 要】
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半导体器件大部分都是在外延片上制成的,测定外延层纵向浓度分布是否符合设计要求,是一个重要的质量指标。本仪器是应用所谓二次谐波原理来进行测试的。将被测样品形成肖特
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半导体器件大部分都是在外延片上制成的,测定外延层纵向浓度分布是否符合设计要求,是一个重要的质量指标。本仪器是应用所谓二次谐波原理来进行测试的。将被测样品形成肖特基结,用一小的射频电流来激励肖特基二极管。当在肖特基结中流过恒幅正弦电流Isinωt时,肖特基结两端的附加电压为:
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