【摘 要】
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根据芯片表面缺陷检测过程的特点设计了一种芯片表面缺陷检测系统,该系统包含了放料,检测,标记和收料4个组成部分,在检测单元采用图像处理和图像识别技术准确检测芯片的缺陷;运用自动控制技术实现对缺陷芯片的标识;实现了对芯片表面缺陷检测和标记的智能化,将图像处理的高速性和机械控制系统的稳定性相结合,整个系统实现了芯片表面缺陷检测过程的自动化,解决了芯片表面检测效率低的问题。
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根据芯片表面缺陷检测过程的特点设计了一种芯片表面缺陷检测系统,该系统包含了放料,检测,标记和收料4个组成部分,在检测单元采用图像处理和图像识别技术准确检测芯片的缺陷;运用自动控制技术实现对缺陷芯片的标识;实现了对芯片表面缺陷检测和标记的智能化,将图像处理的高速性和机械控制系统的稳定性相结合,整个系统实现了芯片表面缺陷检测过程的自动化,解决了芯片表面检测效率低的问题。
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