硅微加速度计系统设计技术

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本文探讨了硅微加速度计的系统设计方法,采用专用MEMS设计软件建立了"三明治"式硅微加速度计自顶向下的系统模型,该模型对于硅微加速度计的系统设计和优化具有指导意义.通过优化改进设计,目前硅微加速度计零位重复性已达到2×10-4g(3个月,1σ),正在开展探月二期工程的应用研究.
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