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期刊论文
含Fe聚合物混合薄膜的制备
含Fe聚合物混合薄膜的制备
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ilytotti
【摘 要】
:
采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积技术(PEMOCVD)制备含Fe聚合物混合薄膜,系统考查了偏压,源物加工热电压,沉积位置对膜沉积的影响,对膜的组成和结构进行了研究。
【作 者】
:
文晓刚
【机 构】
:
中国科学院成都有机化学研究所
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
混合薄膜
薄膜
有机聚合物
化学气相沉积
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采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积技术(PEMOCVD)制备含Fe聚合物混合薄膜,系统考查了偏压,源物加工热电压,沉积位置对膜沉积的影响,对膜的组成和结构进行了研究。
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