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微加工技术与微光机电系统的研究与应用
微加工技术与微光机电系统的研究与应用
来源 :世界科技研究与发展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangzanJane
【摘 要】
:
本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和11-GA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车工业、生物医学、航空航天、国防军事等领域
【作 者】
:
陈迪
赵旭
【机 构】
:
上海交通大学
【出 处】
:
世界科技研究与发展
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
微光机电系统
微加工技术
MOEMS
LIGA技术
硅微机械加工技术
MOEMS
microfabrication technique
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本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和11-GA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车工业、生物医学、航空航天、国防军事等领域的应用.
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