预氮化对复合CrTiAlN薄膜组织和摩擦性能的影响

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采用物理气相沉积技术和离子氮化技术,在模具钢表面形成氮化层和氮化层/多元复合CrTiAlN硬质薄膜。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能谱仪研究了氮化处理对多元复合CrTiAlN硬质薄膜组织结构的影响;通过硬度仪和摩擦磨损测试仪等手段研究了氮化处理对多元复合CrTiAlN硬质薄膜的磨损性能的影响。研究结果表明,薄膜表面光滑平整,呈柱状晶生长,无明显缺陷。渗氮处理能够提高CrTiAlN薄膜耐磨损性能和与基体的结合强度。随着载荷从5到30 N的增加,薄膜的磨损率逐渐增加,而摩擦系数却有下降趋势。薄膜的摩擦系数随着磨粒粒径的变大先增大后减小;磨粒粒径分别为10、20μm时,未经渗氮和经渗氮后的薄膜摩擦系数达到最大值,分别为0.42和0.36。同时随着磨粒粒径的增加,摩擦系数曲线振动幅度也逐渐增大。 Nitride layer and nitrided layer / multi-component CrTiAlN hard film were formed on the surface of die steel by physical vapor deposition technology and ion nitriding technology. The effects of nitriding treatment on the microstructures of multi-composite CrTiAlN hard films were studied by scanning electron microscopy, X-ray diffraction and energy dispersive spectroscopy. The effects of nitriding on the hardness of multi-composite CrTiAlN hard coatings were investigated by means of hardness tester and friction and wear tester. The impact of the wear properties of the film. The results show that the film surface smooth, columnar crystal growth, no obvious defects. Nitriding treatment can improve the CrTiAlN film wear resistance and bond strength with the substrate. With the increase of load from 5 to 30 N, the wear rate of the film gradually increases, while the friction coefficient decreases. The coefficient of friction of the films increases first and then decreases with the increase of the particle size. When the particle sizes of the particles are 10 and 20μm, the friction coefficients of the films without nitriding and nitriding reach the maximum respectively 0.42 and 0.36. At the same time, with the increase of abrasive particle size, the vibration amplitude of the friction coefficient curve also gradually increases.
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