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微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率。研究了UV—LIGA制作微工具电极的技术。以金属为基底,采用UV—LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1mm的SU-8胶结构,最大深宽比达10:1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极。