论文部分内容阅读
主要介绍在制作一种压阻式微硅高g(g＝9．8m/s^2，微重力加速度值）加速度传感器的过程中，所遇到的工艺问题有其解决方法。并较详细地叙述了涉及到的键合（SDB）、双面光刻及传感器几何图形的精确控制等关键技术。
微硅高g加速度传感器工艺研究
【摘 要】
：
主要介绍在制作一种压阻式微硅高g(g＝9．8m/s^2，微重力加速度值）加速度传感器的过程中，所遇到的工艺问题有其解决方法。并较详细地叙述了涉及到的键合（SDB）、双面光刻及传感器几何图
【机 构】
：
东南大学微电子中心
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
：
2002年4期
其他文献
2018年1月8日,浙江大学唐睿康教授团队在《先进材料》（Advanced Materials）上发表题为＂Citrate improves collagen mineralization via interface wetting：a physicochemical und
目的:对不同产地三棱药材的质量进行综合评价,建立三棱药材质量评价方法。方法:采用主成分分析、相似度分析法及聚类分析,对产自安徽黄山、安徽巢湖、浙江金华、浙江东阳、湖
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
提出一种用光电传感器实现货车车厢识别的方法.60Co铁路货车检查系统具有很高的自动化检查流程,信号的检测与获取是关键,车厢识别信号是其中的一个关键信号.检测这一信号所需
野山药营养丰富,可药菜兼用,具有健脾胃、助消化、滋肾益精、益肺止咳、降低血糖、延年益寿的作用,是很好的营养滋补品。其作为蔬菜口感好,食味佳,也是多数人喜食的上好菜肴
2008年金融危机之后,受其影响较大的发达国家都将去杠杆作为经济调控的主要着力点,而我国在逆周期调控的背景下,释放大量资金注入市场,刺激经济复苏,各行业各部门总体债务水
以引进的7个特色山药品种为试材,从苗期生长情况、形态特征、产量及品质方面进行品种特性比较研究,结果表明：7个山药品种的品种特性差别较大,选育的大和长芋出苗期较早,出苗天
2018年10月30日,浙江大学基础医学院免疫学研究所王迪教授团队在《免疫》(Immunity)上发表题为'Cholesterol homeostatic regulator SCAP-SREBP2 integrates NLRP3 infla
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield