【摘 要】
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主要介绍在制作一种压阻式微硅高g(g=9.8m/s^2,微重力加速度值)加速度传感器的过程中,所遇到的工艺问题有其解决方法。并较详细地叙述了涉及到的键合(SDB)、双面光刻及传感器几何图
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主要介绍在制作一种压阻式微硅高g(g=9.8m/s^2,微重力加速度值)加速度传感器的过程中,所遇到的工艺问题有其解决方法。并较详细地叙述了涉及到的键合(SDB)、双面光刻及传感器几何图形的精确控制等关键技术。
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