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a—Si:H薄膜的磁场诱导红外光谱变化的研究
a—Si:H薄膜的磁场诱导红外光谱变化的研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fox_pop
【摘 要】
:
本文研究了在磁场作用下a—Si:H薄膜的红外光谱的变化,发现了2000cm<sup>-1</sup>硅氢振动模向2100cm<sup>-1</sup>硅氢振动模的直接转变,并且在这种变化中键合氢的含量不变
【作 者】
:
王晓临
罗文秀
李建华
戴国才
【机 构】
:
山东大学晶体材料研究所,山东大学化学系,山东大学物理系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1990年5期
【关键词】
:
非晶硅薄膜
红外光谱
磁效应
a-Si:HIR spectraMagnetic effect
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本文研究了在磁场作用下a—Si:H薄膜的红外光谱的变化,发现了2000cm<sup>-1</sup>硅氢振动模向2100cm<sup>-1</sup>硅氢振动模的直接转变,并且在这种变化中键合氢的含量不变。提出了Si—H……Si弱耦合模型。
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