【摘 要】
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随着5G时代的到来,结构光3D成像技术对不可见光接收模组窄带滤光片的要求不断提高.基于法布里-珀罗全介质型干涉仪膜系设计理论,选择Si-H和SiO2分别作为高、低折射率材料,采用光谱拆分法,使用电感耦合磁控溅射技术和直流磁控溅射技术交替成膜,以提高膜层的聚集密度,降低膜层的粗糙度;并通过辅助阳极降低成膜温度对通带光谱的影响.最终制备的滤光片以945 nm为中心波长,对926～952 nm光的平均透过率达到98.5％,0°～38°通带偏移量为13 nm.
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022;光驰科技(上海)有限公司,上海200444
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随着5G时代的到来,结构光3D成像技术对不可见光接收模组窄带滤光片的要求不断提高.基于法布里-珀罗全介质型干涉仪膜系设计理论,选择Si-H和SiO2分别作为高、低折射率材料,采用光谱拆分法,使用电感耦合磁控溅射技术和直流磁控溅射技术交替成膜,以提高膜层的聚集密度,降低膜层的粗糙度;并通过辅助阳极降低成膜温度对通带光谱的影响.最终制备的滤光片以945 nm为中心波长,对926～952 nm光的平均透过率达到98.5％,0°～38°通带偏移量为13 nm.
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