【摘 要】
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提出了一种叉指式微机电系统（MEMS）可变电容设计方案，并从结构、电学特性、工艺三方面进行了仿真设计。由仿真结果可知：驱动电压为67V时，该设计理论电容可调率3．45，电容调节范围88．16
【机 构】
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清华大学精密仪器系,西安现代控制技术研究所
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提出了一种叉指式微机电系统（MEMS）可变电容设计方案，并从结构、电学特性、工艺三方面进行了仿真设计。由仿真结果可知：驱动电压为67V时，该设计理论电容可调率3．45，电容调节范围88．16～392．19iF，谐振频率36GHz，Q值223（1GHz），反射衰减0．00225dB，插入损耗42．75dB．与其他形式可变电容相比，该设计理论电容具有高Q值、高电容可调率和工艺简单的技术优势。
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